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渡邉哲也さんがリツイート フッ化水素には”レシピ“がある 一口にフッ化水素といっても、除去したいものは何か、洗浄したい膜は何か、などによってフッ化水素の成分が異なる。要するに、洗浄工程ごとにフッ化水素の”レシピ“が存在する。そして、その完全なレシピを、半導体メーカーは知らない [政治]

渡邉哲也さんがリツイート フッ化水素には”レシピ“がある 一口にフッ化水素といっても、除去したいものは何か、洗浄したい膜は何か、などによってフッ化水素の成分が異なる。要するに、洗浄工程ごとにフッ化水素の”レシピ“が存在する。そして、その完全なレシピを、半導体メーカーは知らない

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